FOUP

FOUP

FOUP 添加了一套高架轨道系统，矿车运载着装有物品的前开式统一舱（FOUP，Front Opening Unified Pod），在不同站点之间运输这些物品。 在站点中，如果站点与 FOUP 装载器相连，物品可以被移入或移出 FOUP；如果站点与 FOUP 存储接口相连，则整个 FOUP 可以被移入或移出存储。 每辆矿车都有一个时刻表，定义了它将前往的站点以及在那里执行的操作。